淨化係統工程是指控製產品所接觸大氣的潔淨度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、製造。此環境空間的設計施工過程即可稱為淨化係統工程。
淨化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業,21世紀在電子信息、半導體、光電子、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用,並根據行業的精密與無塵要求,等級差別也較大。目前級別最高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬於1級,屬於特殊領域,麵積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向,隨著電子元器件向微小化方向發展,液晶麵板已經升級至第八代,行業需求非常巨大。淨化係統工程的分類有以下幾種:

亂流式
空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、係統建造成本低,潔淨室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。

層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,並由高架地板或兩側隔牆板回風。此型式適用於潔淨室等級需定較高的環境使用,一般其潔淨室等級為Class1——100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風係統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側汙染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。
(1)潔淨隧道:以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI製程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)潔淨管道:將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理,將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔淨度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)並裝局部潔淨室:將潔淨室等級10,000——100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10——1000級以上,以為生產之用;潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。

潔淨工作棚
為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間,其等級為10——1000級,高度在2.5米左右,覆蓋麵積約10m2以下,四支支柱並加裝活動輪,可為彈性運用。