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無塵車間常用名詞-東莞無塵車間_潔淨室工程_淨化工程首選avtt天堂东京热天然素人建設
無塵車間常用名詞
來源於:avtt天堂东京热天然素人建設
發布時間:2021-04-23
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無塵車間:無塵車間是一個為了對空間內空氣中的微粒做控製,所建造的特殊封閉性建築。一般而言,無塵車間也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控製。

微粒控製:無塵車間微粒控製的第一步,是把室內微粒對製程影響的程度做完整分析,然後針對分析結果,訂定恰當的微粒控製方式與無塵車間管理模式,才能有效率的控製微粒汙染。在做微粒影響分析時,必須特別注意數據的量化,也就是粒徑與其數量對製程的影響,才是有用的數據。

外來汙染源:從無塵車間外進入係統的汙染源,外來汙染源主要是由空調通風係統所導入,另外門、窗、牆壁裂縫等也是外來汙染源的成因。

內部汙染源:無塵車間內部產生汙染的來源,一般是製程機器與操作員工,最嚴重的內部汙染源一般是操作員工。


隔離:隔離是汙染控製的一種觀念,也就是讓汙染源隔絕在無塵區域之外。這種觀念多應用在高潔淨度的無塵環境,例如 Class 100,Class 10,Class 1等高濾網覆蓋率的無塵車間,或是使用迷你無塵車間(潔淨棚)將機台整個包住。


稀釋:稀釋是汙染控製的另一種觀念,多應用在潔淨度不高的無塵車間。例如在 Class 10000的無塵車間,因為換氣量不大,製程與人員產生的粒子就會在室內打轉,要比較的時間才會排出。因此新的幹淨空氣隻能稀釋室內的微粒濃度,讓室內潔淨度控製在某一等級之下就可以了,不要求把人員與製程隔開。使用稀釋法作為粒控製時,要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性,能掌握微粒的產生速率,才能有效地稀釋微粒。

氣流模式:指的是流場型態,氣流分布,氣流的流向等性質。由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式,因此越潔淨的無塵車間或是無塵區域,對氣流模式的掌控就越重視。基本上要先掌握氣流模式,才能掌握潔淨度。

非單一流向型氣流:氣流方向不受控製,就是所謂的亂流型無塵車間,潔淨度較低的無塵車間都是用非單一流向型氣流以節省成本。

單一流向型氣流:氣流以同一個方向移動,這種無塵車間稱為單一流向型無塵車間,又稱為層流型無塵車間。高潔淨度的無塵車間需要單一流向型氣流。

As-built cleanroom(剛完工的無塵室):已經完成且可以操作,所有相關支持設施皆已完成的無塵車間,但並沒有設備及操作設備的人員,又稱為空態無塵車間。

At-rest cleanroom(準備中的無塵室):已經完成且可以操作,所有相關支持設備皆已完成的無塵車間,設備已加載並可以操作或已在運轉,但沒有操作設備的人,又稱為靜態無塵車間。

Operational cleanroom(操作中的無塵室設施):一個已在正常運轉的無塵室,所有相關支持設施皆已動作,設備及人員皆已加載,運轉狀態可以呈現和達到其正常的功能,又稱為動態無塵車間。

空氣潔淨度:表示空氣潔淨的程度,以含塵濃度衡量,含塵濃度高則潔淨度低,反之則高。

空氣潔淨度級別:以數字表示的空氣潔淨度級別,級別越高,數字越小,潔淨度則越高,反之潔淨度越低

級別上限:級別含塵濃度的最大上限值。

浮遊菌濃度:經過培養得出的單位體積空氣中的菌落數個/m。

沉降菌濃度:用Φ90mm的培養皿靜置室內30min,然後培養得出的每個皿的菌落數。

塵埃粒子:表麵和氣體中的固體物質。

顆粒:顆粒可以定義為特定尺寸,液態或固態或兩種狀態的物質。由美國聯邦209E標準定義的粒度範圍為0.001微米至1微米。 ISO 14644標準將粒子定義為具有確定物理邊界的小粒子。

顆粒濃度:每單位體積空氣中的顆粒數。

粒徑:粒子出現在顯微鏡觀察平麵上的最大線性形狀因子,或由自動檢測器檢測到的粒子當量直徑。

超細顆粒:顆粒的範圍從約0.01微米到離散顆粒計數器的顆粒尺寸檢測的上限。